蚀刻机最好的是美国泛林半导体、应用材料公司、日本的东京电子这三家顶尖的蚀刻机公司占据了94%的市场。其中又以美国的泛林半导体最强。

蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。