都是duv或euv光刻机。

目前制造国产cpu用的都是duv深紫外光光源光刻机，其制程为22纳米以上。不光是国产cpu，还有国产手机芯片用的也是duv光刻机，比如中芯国际代工的海思麒麟芯片用的就是duv光刻机。而5纳米海思麒麟9000芯片用的是台积电代工的euv光刻机。